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行業(yè)資訊
常見問題

硅晶片充氮隧道爐參數(shù)

來源: 最后更新:2025-08-08 14:14:42 作者:新鏵 瀏覽:32次

設(shè)備名稱:硅晶片充氮隧道爐

設(shè)備特點(diǎn):采用智能溫度控制器,PID自動(dòng)演算、LED顯示,配合SSR固態(tài)繼電器輸出控制加熱,控溫精度高;采用多段均勻分布控制加熱;采用紅外線電熱管省電,無塵,使產(chǎn)品達(dá)到快速烘干的效果;采用多路氮?dú)饬髁坑?jì)進(jìn)氣口,可加裝含氧量檢測(cè)裝置  

設(shè)備型號(hào):XHSOQ-2-05-4R

機(jī)臺(tái)電源:AC380V  50Hz  10KVA   

烘烤尺寸:長(zhǎng)2000×寬530×高100mm    

輸送尺寸:長(zhǎng)2500×寬730×高1650mm(以實(shí)物為準(zhǔn))    

機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu):入料口高度:0-100mm,進(jìn)料段:250mm,恒溫段:500mm(分4段加熱),冷卻段:/ , 出料段:250mm

安裝定位:硅晶片充氮隧道爐底部安裝承重3寸腳輪、M18腳杯高度可調(diào)+50mm.    

氣動(dòng)門:進(jìn)出料安裝氣動(dòng)門,光電檢測(cè)來料后自動(dòng)開關(guān).    

檢修方式:爐蓋電動(dòng)推桿掀開+手動(dòng)撐桿保護(hù)檢修方式設(shè)計(jì).    

內(nèi)箱材質(zhì):SUS304#T1.4mm鏡面不銹鋼

外箱材質(zhì):SS41#T1.4mm鋼板經(jīng)防銹處理后高溫烤粉

機(jī)架材質(zhì):T2.0*40*40mm鐵方通,兩側(cè)整體活動(dòng)封板.    

機(jī)臺(tái)顏色:經(jīng)防銹處理后靜電高溫粉體涂裝,整機(jī)為鄒紋灰白色.    

保溫結(jié)構(gòu):硅晶片充氮隧道爐采用耐高溫白色硅酸鋁棉,保溫層厚度100mm.    

密封條:采用?20mm耐高溫雙硅膠密封條密封處理,美觀無污染.    

溫度范圍:室溫~MAX250℃,常用溫度200℃.    

操作方式:10.4寸觸訊顯示器+松下可編程控制器+掃碼功能.    

溫度控制器:智能溫度控制器,數(shù)字設(shè)定,LED顯示,PID自動(dòng)演算,配合SSR輸出控制,K型熱電偶檢測(cè)溫度.

溫度均勻度:空爐200℃恒溫15min后溫差±3-5℃ .    

運(yùn)風(fēng)方式:經(jīng)過風(fēng)道分散后水平循環(huán)運(yùn)風(fēng)設(shè)計(jì),均勻性佳.    

運(yùn)風(fēng)電機(jī):長(zhǎng)軸型烤箱專用馬達(dá)4組配強(qiáng)力型多翼式鍍鋅風(fēng)輪.    

高效過濾器:采用二級(jí)過濾,進(jìn)風(fēng)口加裝初效過濾器,爐內(nèi)加裝耐高溫有隔板高效過濾器,雙面防護(hù)網(wǎng)為不銹鋼方格網(wǎng)SUS304;風(fēng)量:2000 m3/h;    

加熱方式:硅晶片充氮隧道爐采用不銹鋼電熱管+熱風(fēng)循環(huán).    

加熱功率:10KW,恒溫狀態(tài)功率:5KW.    

升溫速率:約10℃/min,空爐常溫~200℃約需時(shí)間20分鐘.    

冷卻方式:2排可調(diào)節(jié)角度軸流風(fēng)扇.    

輸送網(wǎng)帶:寬500mmT1.0*4*4mm鐵復(fù)龍布帶配自動(dòng)光電糾偏裝置.    

網(wǎng)帶除塵:進(jìn)料段安裝除塵粘滾.    

輸送速度:減速電機(jī)配合變頻器調(diào)速1-5m/min任意調(diào)節(jié).    

輸送高度:輸送帶表面距離地面850+50mm可調(diào).    

安全保護(hù):漏電斷路器、電源逆向防止器、超溫停止加熱、馬達(dá)及電熱過電流、控制回路短路及過載、三色信號(hào)指示燈(紅色故障,黃色待機(jī),綠色運(yùn)行)等保護(hù)并警報(bào)裝置…合乎國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn).

防護(hù)標(biāo)簽:所有帶電外露部位加裝絕緣保護(hù)罩,危險(xiǎn)處貼有高溫,防觸電警示標(biāo)識(shí),電柜防護(hù)等級(jí)IP54.

機(jī)臺(tái)電源:主電源采用AC 220V/380V/50Hz三相五線制.    

使用條件:環(huán)境相對(duì)濕度40%-50%,溫度為20-30攝氏度.    

注意事項(xiàng):烘烤的產(chǎn)品不能含有高濃度易燃、易爆揮發(fā)性氣體或溶劑.    

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):爐溫均勻度按GB9452-1988或JB/T6049-1992,電熱設(shè)備的安全性按GB5959.1-1986,GB5959.4-1992執(zhí)行.    

參考標(biāo)準(zhǔn):JB/T7629-94A/DQ5071-92《耐火纖維爐襯的設(shè)計(jì)和安裝規(guī)范/筑爐守則》,GB10067.1/4-88《電熱設(shè)備/間接電阻爐基本技術(shù)條件和通用部分》.    

東莞新鏵烘烤設(shè)備廠家生產(chǎn):硅晶片充氮隧道爐,氮?dú)馑淼罓t,充氮隧道爐,晶圓芯片隧道爐,半導(dǎo)體氮?dú)馑淼罓t,電子業(yè)充氮隧道爐,無塵隧道爐,氣氛保護(hù)隧道爐,熱風(fēng)隧道爐,紅外線隧道爐,潔凈隧道爐,固化隧道爐,烘烤隧道爐,卷對(duì)卷隧道爐,涂布隧道爐,水份烘干隧道爐隧道爐廠家等設(shè)備研發(fā)制造.

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