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無塵烤箱是一種特殊設計的工業(yè)或實驗室用烤箱,主要用于需要高度潔凈環(huán)境的工藝過程,如電子元件制造、半導體生產、精密儀器組裝等。以下是關于無塵烤箱的關鍵信息:
核心特點
潔凈度控制
內置HEPA或ULPA高效過濾器,可過濾0.3μm以上的顆粒,潔凈度通常達到ISO Class 5(百級)或更高標準。
腔體采用不銹鋼材質,避免粉塵脫落,部分型號配備離子風機消除靜電吸附。
溫度精準性
溫控范圍廣(常溫~300℃+),波動度±0.5℃以內,適合對溫度敏感的工藝(如固化、退火)。
氣流設計
垂直層流或水平層流系統(tǒng),確保熱空氣均勻循環(huán),避免局部過熱或污染物沉積。
密封性
門體采用硅膠密封條,部分型號支持惰性氣體(如氮氣)環(huán)境操作,防止氧化。
應用場景
電子行業(yè):PCB板烘烤、芯片封裝固化。
醫(yī)藥領域:無菌包裝材料干燥、醫(yī)療器械滅菌。
科研實驗:納米材料合成、光學元件鍍膜后處理。
選型建議
根據工藝需求確認潔凈等級(如半導體需Class 100以下)。
注意內腔尺寸與承重,避免過度堆疊影響氣流。
可選配數據記錄、遠程監(jiān)控等智能化功能。
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